半導体製造装置の長期間使用へのご要望に対し、装置リノベーション、代替品開発、ヘルスチェックに基づく付加価値のある提案を行います。
長期使用装置を最新技術でリノベーション
最新コントローラシリーズへの置換え
12inch TFT Color LCD Touch Panel採用による操作性の向上
豊富なData収集能力HDD：320G byte×2（RAID DISK）
Process DataのGraph表示により Engineering機能の向上
処理枚数アップによる生産性向上
150 → 175枚化
高速搬送移載機へのアップグレード
搬送時間の短縮 → TAT短縮に貢献
生産中止対応
半導体製造装置をこの先もより永く安心してご使用いただくため生産中止対応、機能を向上した製品をご提供いたします。
代替品開発
コントローラー、各軸ドライバー、モーター 他
代替品開発（FDD ⇒ USB/SDメモリーユニットに置換え）
USBメモリ/SDカードで読み書き可能
フロッピーディスク100枚分のデータを格納可能
PCでデータ管理可能
他社製品にも対応可能（I/Fが同一の場合）
後継機種開発（縦型装置コントローラ）
寸法、機能等、従来品から変更無く完全互換で取付け可能
中古部品（動作確認品）
ヘルスチェック保守提案
この先もより永く安心してご使用いただくためのサービスを提供します。
ヘルスチェックとは
長期使用装置の潜在的な不具合を診断し予防保全をご提案
最新のオーバーホール
搬送系、制御系、電源 他
サーモカメラ
隙間監視カメラ
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