お客様の声から生まれた各種機能アップのご提案を行います。
ウェーハ移載機のアップグレード化
300mm
低パーティクル化
高性能マッピングセンサ
インチ兼用化
200mm
ウェーハ割れ検知
高速化
低パーティクル化
ウェーハ裏面キズ低減
インチ兼用化
お客様の声からサービスプロダクト開発
強化白金熱電対
R型TCのクリープ強度向上
すべてのR型TCの置換え対応
FDD ⇒ USB/SDメモリーユニットに置換え
FDの入手困難対策 ⇒ コントローラー付属のFDDをUSBまたはSDメモリーユニットに置換え
治具の開発・検討
お客様のお悩みを解決します
その他機能も多数取り揃えています。
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