当社は、（株）Kokusai Electric社製 半導体製造装置の「修理」「移設・改造」「オーバーホール」「部品販売」の業務を行っております。
移設・改造
既存製品の交換・改造から、部品の変更、設備の老朽化や新技術動向に対応するリニューアル提案まで、幅広いサービスを行っています。
膜種変更
ガス種、制御レシピ変更など
コントローラ改造
縦型炉コントローラ改造
ウェーハサイズ変更
シリコンウェーハサイズの変更
排気系改造
ポンプ・バルブ、配管交換など
オーバーホール
劣化部品交換やグリスアップから、日常点検では行き届かない箇所の清掃や装置の分解による点検・修復まで、装置性能の維持向上を見据えた提案を行っています。
排気系ホーバーホール
配管清掃、Ｏリング、パッキン交換など
移載機系オーバーホール
ＬＭガイドグリースアップ・ベアリング交換など
装置全体リフレッシュオーバーホール
駆動ケーブル交換・電池交換・グリースアップなど
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