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概要
VR300DSE-2Pは、当社のコア技術であるプローブ駆動コントロールシステムにより、シリコンウェーハ、磁性体薄板など導電性試料の抵抗率、シート抵抗を高精度に測定することを実現したフルオートタイプの四探針測定器です。
特長
プローブ駆動コントロール機構により、極薄膜、極浅イオン注入層を高精度測定
最適なプローブ駆動をレシピにてセットアップ可能
高スループット化によるCoOの低減
2ロードポート対応
プローブ針先端の自動コンディショニング機能搭載
抵抗率分布の等高線マップ、三次元マップ等を作図可能
SEMI E95準拠の画面により操作性向上
300mmライン用自動化システム対応
アプリケーション
シリコン、ポリシリコン等の材料関連
イオン注入、拡散、メタル膜等
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