300mm自動搬送モデル
VR300DH1

VR300DH1は、300mm向けのフルオートタイプ装置で、VR300DSE後継機種となります。

当社のコア技術であるプローブ駆動コントロールシステムにより、シリコンウェーハ、磁性体薄板など導電性試料の抵抗率、シート抵抗を高精度に測定することを実現したフルオートタイプの四探針測定器です。

詳細についてはこちらよりお問合せください。

プローブ駆動コントロール機構により、極薄膜、極浅イオン注入層を高精度測定

最適なプローブ駆動をレシピにてセットアップ可能

高スループット化によるCoOの低減

1ロードポート対応、ポートはFOUP

プローブ針先端の自動コンディショニング機能搭載（オプション）

抵抗率分布の等高線マップ、三次元マップ等を作図可能

SEMI E95準拠の画面により操作性向上

300mmライン用自動化システム対応（オプション）

パワーデバイスなど裏面工程でのウェーハ薄化後シート抵抗測定（オプション）

低抵抗試料に対応した測定レンジに対応（オプション）

シリコン、ポリシリコン等の材料関連

イオン注入、拡散、メタル膜等

パワーデバイス等でのウェーハ薄化後のプロセス評価