ミクロソニック外付振動子の一例
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各種ウェーハサイズ・処理枚数に対応する、外付振動子を多数取りそろえています。当社にお問い合わせください。
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730kHz・1MHz振動子は投込振動子も取りそろえています。当社にお問い合わせください。
主な仕様
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組み合わせ発振器 ※1 |
UO1200PMCX |
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周波数 |
730kHz |
1MHz |
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振動素子 |
PZT |
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使用液温 |
15 to 70℃ |
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振動板材質 |
SUS |
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カバー |
材質 SUS |
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取付ボルト |
材質 SUS |
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オプション |
カバー |
構造 |
材質 |
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密閉型 |
SUS |
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パッキン |
材質 |
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EPDM |
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シリコーンゴム |
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クロロプレン ゴム |
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フッ素ゴム |
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ゴアテックス® |
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ナット・ばね座金・平座金 ※2 |
材質：SUS |
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- ※1
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UO1200PMCX選択時は周波数をご指定ください。
- ※2
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数量は型式により異なります。
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ミクロソニックは株式会社国際電気セミコンダクターサービスの登録商標です。
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ゴアテックスはW.L.Gore & Associates,Inc.の登録商標です。
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