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主な用途
半導体の洗浄
フォトマスクの洗浄
ベアウェーハの最終洗浄
半導体製造装置ジグ洗浄
高精度出力電力制御
出力設定範囲全域で高精度の出力電力フィードバック制御をおこないますので、半導体の微細化に伴う低出力時の安定性を飛躍的に高めました。
このことにより、半導体デバイスへのダメージをより低減することが可能となりました。
固定周波数
発振周波数が一定のため、石英槽の超音波透過率は常に一定です。
高効率・コンパクト設計
力率改善回路の採用により、当社従来機と比較して消費電力15%低減を達成しました。
当社従来機比容積率30% 質量30%の低減をして小型化しました。
UO1200PMCX シリーズ
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型 式 |
UO1200PMCX |
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発振モード |
単一周波 |
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定格出力 |
1200 Watts |
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出力調整範囲 |
3 to 1200 Watts |
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周波数 |
730kHz |
1MHz |
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遠隔制御 |
有 |
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電源 |
単相 AC200V～230V±10% 50/60Hz |
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消費電流 |
10A |
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外形寸法（mm） |
360（W）×150（H）×480（D） |
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質量 |
14kg 以下 |
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適合規格 |
CE・FCC ※1・Semi-F47 |
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- ※1
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FCC規格適合には、別売のノイズフィルター（FB001）が必要です
- ※
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ミクロソニックは株式会社国際電気セミコンダクターサービスの登録商標です。
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