200mm自動搬送モデル
VR300DH3

抵抗率測定システム

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VR300DH3

概要

  • VR300DH3は、200mm向け自動搬送システム付きの装置で、VR300DSE(オープンカセットタイプ)後継機種となります。

  • 当社のコア技術であるプローブ駆動コントロールシステムにより、シリコンウェーハ、磁性体薄板など導電性試料の抵抗率、シート抵抗を高精度に測定することを実現したフルオートタイプの四探針測定器です。

  • 詳細についてはこちらよりお問合せください。

特長

  • プローブ駆動コントロール機構により、極薄膜、極浅イオン注入層を高精度測定

  • 最適なプローブ駆動をレシピにてセットアップ可能

  • 高スループット化によるCoOの低減

  • 1ロードポート対応、ポートはオープンカセットタイプ

  • プローブ針先端の自動コンディショニング機能搭載(オプション)

  • 抵抗率分布の等高線マップ、三次元マップ等を作図可能

  • SEMI E95準拠の画面により操作性向上

  • 低抵抗試料に対応した測定レンジに対応(オプション)

アプリケーション

  • シリコン、ポリシリコン等の材料関連

  • イオン注入、拡散、メタル膜等

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