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概要
VR300DECは、当社のコア技術であるプローブ駆動コントロールシステムにより、シリコンウェーハ、磁性体薄板等など導電性試料の抵抗率、シート抵抗を高精度に測定することを実現したマニュアルタイプの四探針測定器です。
特長
ウェーハサイズ 75mm（3インチ） ～ 300mm
プローブ駆動コントロール機構により、極薄膜、極浅イオン注入層を高精度測定
最適なプローブ駆動をレシピにてセットアップ可能
抵抗率分布の等高線マップ、三次元マップ等を作図可能
上位通信機能対応
アプリケーション
シリコン、ポリシリコン等の材料関連
イオン注入、拡散、メタル膜等
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