VR CUBE | 株式会社国際電気セミコンダクターサービス

設置スペースがなくて装置導入をあきらめていませんか？

設備投資のコストを
できる限り抑えたい！
コンパクトで
自動搬送できるものが欲しい！
クリーンルームのスペースを
有効活用したい!

抵抗率測定システム　VR300の新シリーズ VR-CUBE を導入で

現場のお悩みをこれ1台で解決！

Features

製品の特長

01. Compactness

高精度測定を維持したまま、
設置面積を40％削減
- VR-CUBEは自動搬送システム搭載のVR300DH3をベースに設計されたコンパクトモデルです。
  従来機と比較しフットプリントを大幅に削減しつつ、
  当社のコア技術を活用し高精度測定の性能は維持しています。
- 四探針方式により安定した測定を実現するとともに、
  自動搬送と測定プロセスの最適化によりスループットを大幅に向上。
  短時間での処理を可能にしています。
02. Versatility

複数ウェーハサイズに柔軟対応
- 当社のウェーハ搬送システムは、150mm/200mmの両サイズに対応します。
  両サイズのカセットを搭載することで、ラインの柔軟性を大幅に向上させます。
- また、高剛性なロボットアーム、精密な位置決め制御、ソフトランディング機能を組み合わせ、
  複数のサイズのウェーハを安全かつ高速に搬送可能。
  設備投資の抑制、ライン切り替え時間の短縮に最適の装置です。
03. Next-Generation Technology

パワー半導体開発を支えるSiC測定
- 当社技術により、従来までは測定困難だったSiCの抵抗率測定が可能となりました。
  金属膜、イオン注入、ベアなどの各種SiCに対応し、高精度での測定を実現。
  さらに、Siの抵抗率測定と同一環境で共存できます。
04. Sustainability

サステナブルな装置設計
- VR-CUBEは、省スペース化だけでなく環境への配慮も追求しました。
  コンパクト設計により使用部品数を最適化。
  総重量を約30%削減※し軽量化、省資源化を実現。
  消費電力は他社同等製品と比較して約30%の低減を実現しています。
  高精度測定を維持しながら、サステナブルな製造環境の構築をサポートします。
※当社従来機比

VR-CUBE について詳しく聞く

お問い合わせ

Key Advantages

選択のポイント

Reasons

当社が選ばれ続ける理由

As a top company

アジアを中心に
お客様から高い信頼と評価
History and trust

65年の歴史と共に累計2,200台以上の納入実績

※2026年6月時点
Agility

トラブル発生時の
迅速な対応

Purchase Process

導入までのステップ

お問い合わせ

HPからお問い合わせ・電話・メールいずれもご対応可能です。ご連絡頂き次第、ご回答させていただきます。
別途お打ち合わせが必要な場合は最短日程でご調整いたします。
ご状況確認

お客様のご要望や現在の状況、課題等を弊社担当がお伺いさせていただきます。
ご希望や測定環境に応じて、サンプルウェーハをお借りして弊社にて評価いたします。
ご提案、ご契約

お伺いしたご要望をもとに、お客様へ最適な仕様の製品見積をさせていただきます。
また、納期・搬入条件・現場作業時間・検収条件等を明確にご提示いたします。
導入・運用開始

お客様がご希望する納期に調整いたします。
また、納品後すぐにご利用いただけるよう、
弊社専任担当者が最適にご調整いたします。
アフターサービス

消耗品のご提供、定期校正、障害対応等あらゆる面からお客様をサポートいたします。

FAQ

よくある質問

従来機との互換性はありますか？

測定性能は従来機と同等であり、多くの用途で互換性があります。詳細は別途お問い合わせください。
デモ機での評価は可能ですか？

可能です。デモ機による評価をご希望の方はお気軽にお問い合わせください。
価格や納期の問い合わせは可能でしょうか？

可能です。販売開始は2026年10月を予定しておりますが、受注状況により納期が変動する場合があります。

設備更新に関するお悩みは、お気軽にご相談ください

設置スペース、対応ウェーハサイズ、測定対象など、お客様の課題やご要望に応じた最適な構成をご案内いたします。

こんな方におすすめです

既存の抵抗率測定装置の
更新を検討中の方
設置スペースの制約に
お悩みの方
高精度・先端の測定を
求めている方

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